《表2 不同预张力情况下输出电容比较》

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《感压膜片预张力对电容薄膜真空规输出特性的影响》

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为便于分析预张力对输出电容的影响，分别对感压膜片施加30 MPa、40 MPa、50 MPa、60 MPa、70 MPa的预张力。针对每组预张力，在0～1 330 Pa内，以0 Pa为起点，133 Pa为步长，选取10组待测压力分别施加于感压膜片，并通过理论计算，得到不同预张力下输出电容的理论解，并与COMSOL软件求得的仿真解进行对比验证。不考虑寄生电容及电场边缘效应的影响，仿真所得到的不同预张力下输出电容的仿真解（C1、C2、C3、C4、C5）与用式（4）求得的理论解（C1′、C2′、C3′、C4′、C5′）对比，并求得相对误差（δ），如表2所列。当待测压力为0 Pa时，输出电容为初始电容，仿真结果为42.88 p F，通过式（1）求得的理论结果为42.27 p F，相对误差为1.44%。