《表1 蚀刻废液主要化学组成》

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《动态离子交换法处理电子行业蚀刻含铝废酸工艺研究》

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磷酸（H3PO4）作为化工生产过程中极其重要的原料，是人们生活中不可或缺的物质。按照磷酸纯度大致可分为5个等级：工业级、饲料级、食品级、电子级以及芯片级[1]。其中电子级磷酸作为一种超高纯度的化工原料，被广泛应用于大屏幕液晶显示器和集成电路等微电子工业的湿法蚀刻与湿法清洗工艺中。含铝蚀刻废液即为湿法蚀刻过程产生的酸性废液。自2012年起，中国工业蚀刻废液产生量大致为200万t/a，年增长率超过5%[2]。表1为蚀刻废液的主要化学组成。