《表5 VPS螺杆真空泵技术参数》

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《干式真空泵在石化装置中的选型特点及设计探讨》

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目前，螺杆真空泵的主要供货商有美国Tuthill、德国Leybold、德国Busch、德国Rietschle、德国SIHI、韩国VPS以及国内山东沃尔姆、智德、江阴爱尔姆。表5列出了VPS螺杆真空泵的性能参数。