《表1 不同编码方式的相位误差》

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《“S”型二元编码的正弦结构光模板设计与实验研究》

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为了验证所提编码的优势，将其与经典的SierraLite、Floyd-Steinberg误差扩散矩阵顺序扫描及SierraLite误差扩散矩阵“S”型扫描（SierraLiteS）进行对比。计算机模拟的其他参数（相移步数、条纹周期等）和连续相位的计算过程相同，相位误差标准差（unSTD）和相位平均误差（unMEAN）的对比结果如表1所示。从表1可以看到，所提方法的相位误差明显小于其他几种编码方法。需要注意的是，采用“S”型路径扫描SierraLite误差扩散矩阵后，相位误差的平均误差降低了两个数量级。换而言之，误差在单个周期内分布更均匀，这对于通过单个周期复制成多个周期的结构光模板的制作工艺来讲，其非常有益于实际应用，而采用顺序扫描的方法对整个光栅模板进行编码，该方式获得的工艺文件极为庞大，无法进行光刻加工。另外，对于Floyd-Steinberg误差扩散，由于其系数分布的特殊性[参阅（3）式和图1]，当在单个周期内进行编码时，至少对单个条纹周期左右边界的2个像素无法进行编码，因此Floyd-Steinberg误差扩散矩阵不参与对比。