《表1 不同实验样品的测试结果》

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《ITO薄膜的电阻并联效应研究》

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为了方便分析，两层ITO薄膜在相同工艺条件下镀制完成，其物理厚度均为200nm左右，且方块电阻均为（62±2）Ω/□。为了避免偶然性，实验中针对不同的介质薄膜材料和厚度，共制备了9个样品，镀制完成后，测试样品表面的方块电阻，结果如表1。