《表1 多晶硅高盐水水质（单位:mg/L)》

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《浅谈多晶硅高盐水的处理工艺及运行情况》

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从表1可以看出，多晶硅高盐水中主要含有的盐分是氯化钙，同时含有一定量的Si O2和碳酸盐，此两种物质在高浓度Ca2+环境中，尤其在高温下，极易从溶液中析出造成结垢堵管，该企业老厂的现有装置生产结垢情况与预测吻合。