《表2 ZEMAX软件仿真参数表》

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《三维振镜激光扫描仪的数学模型构建》

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ZEMAX软件能够实现光学系统内的建模、分析等功能，涵盖了光学设计过程中所需的全部功能，同时具有容差性能好、速度快、灵活性强的优势。因此，实验采用ZEMAX软件对本文构建的三维振镜激光扫描系统的数学模型实施模拟仿真分析。利用ZEMAX软件本文模型控制下三维振镜激光扫描系统模拟焦距为40 mm，320 mm，560 mm的3个聚焦透镜，第一聚焦透镜和第二聚焦透镜间的距离为360 mm，第二聚焦透镜和第三聚焦透镜间的距离为0 mm。对比ZEMAX软件仿真结果，通过计算获取聚焦点移动距离ΔS以及第一透镜移动距离Z间的关系值，结果如表2所示。