《表1 玻璃厚度连续测量实验结果》

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《基于新型激光干涉仪的玻璃测厚实验装置》

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在对响应度进行标定后，对8种厚度的玻璃进行了连续测量实验。测量结果平均值及标准差如表1所示，结果表明厚度测量分辨率达到纳米级。由于单个余弦周期中的像素数量较少，因此对于较厚的玻璃，测量误差及标准差相对较大。对于玻璃厚度的静态测量，使用多次测量求平均值法可将分辨率提高到亚纳米级别。