《表3 电阻调阻数据监测表Tab.3 The monitor of resistor value adjusting process》

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《片式合金箔电阻高精度加工技术的研究》

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注:R为电阻的初始阻值，○调整点跳过，√调整点打断。

在工艺实现的过程中，检测系统对每一颗电阻调阻数据进行监测，记录每一个调整点在调阻过程中的变化以及最终产品的调阻情况，如表3所示，该颗电阻目标阻值为25Ω，从检测表格中可以明显看出合金箔电阻的工艺与实现情况，经过调阻程序，最终阻值为24.9976Ω，精度达到±0.01%以内，达到了工艺的要求。