《表6 电位滴定法测定自配液中硫酸和磷酸的结果》

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《三酸抛光液成分分析研究》

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按照1.4所述步骤和式（8）、式（9）分析和计算表2中3个平行样品的硫酸和磷酸含量，结果如表6所示。3个平行样品的结果均接近理论值，硫酸和磷酸回收率偏差均在2%以内，且磷酸和硫酸3次结果的RSD均小于0.3%，该方法测定硫酸和磷酸的准确性和精密度都较高。