《表6 不同气体压强碳纳米管生长工艺参数》

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《表面生长碳纳米管对C/C复合材料钎焊接头的影响》

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在PECVD腔室中，CH4和H2两种气体的总压强直接影响等离子射频产生的活性碳原子和H+浓度，从而影响碳纳米管的生长形貌。分别在CH4和H2气体总压强为550 Pa、700 Pa、850 Pa、1 000 Pa下进行试验，具体工艺参数见表6。