《表1 各类位移位移传感器对比》

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位移传感器根据不同的测量原理可分为7种类型:1)电位器式,又分为绕线电位器和非绕线电位器两种;2)电阻应变式;3)电容式;4)电感式,又可分为自感式和电涡流式;5)磁敏式,又可分为磁致伸缩扭转波式、霍尔式、磁栅式和感应同步器式;6)光电式,又分为激光式、光栅式和光纤式;7)超声波式。各类传感器性能对比见表1。