《表3 系统运行产水水质：液晶面板18MΩ·cm超纯水脱碳脱氧工艺优化设计》

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《液晶面板18MΩ·cm超纯水脱碳脱氧工艺优化设计》

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(1）运行效果。该工程经过2个月调试顺利完成业主超纯水出水节点要求，系统运行效果较好，纯水系统工程于2019年1月验收，产水水质均能达到设计要求，部分主要的水质指标结果如表3所示。