《表2-1再沸器热负荷及蒸汽消耗一览表》
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根据蒸汽消耗统计，从为得到1kg高纯三氯氢硅需消耗蒸汽1.1kg，能耗较高。
| 图表编号 | XD00151906600 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.03.01 |
| 作者 | 迟志奎 |
| 绘制单位 | 南京合创工程设计有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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