《表5 D级测厚仪示值误差测量不确定度评定》

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《覆层测厚仪示值误差测量不确定度评定》


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单位:μm

采用上述方法对A、B、C、D级测厚仪各受检点的示值误差测量不确定度进行了评定详见表2~表5。