《表1 不同孔径的掩模时的孔径参数》

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《248 nm准分子激光旋转加工锥形孔试验》

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调整激光参数，固定激光单脉冲能量300 m J，激光频率3 Hz，旋转台转速为6°/s，共旋转360°。采用边长分别为1、1.5、2、3 mm的三角形掩模进行加工试验，研究掩模大小对锥形微孔深度与锥度的影响。为提高准确性，对每个参数做四次试验并取平均值，结果见表1。可看出，不同的掩模加工出的锥孔效果都不错，但在使用较大孔径的掩模时，微孔底部的直径非常大，可达460μm。这是由于当掩模增大后可使更多的光子进入，同时刻蚀面积增大，侧壁的倾斜程度并不降低，由于在深度方向的刻蚀率是一定的，所以会使得底面的边长增大。