《表1 不同气流场强度下的干、湿法工艺效果对比表》

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《硼扩散机理及工艺应用技术研究》

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由于扩散源先与进气端区域硅片接触并反应，对于恒温区长度大的高产能扩散炉，扩散掺杂源在径向方向的浓度梯度和扩散掺杂速率直接影响片内间方阻均匀性，所以预沉积过程通常在低温下进行。掺杂源浓度梯度取决于气体流量和管内压力，即气流场强度，其稳定性是衡量设备性能的一个重要参数。为有效衡量湿法再分布扩散工艺对设备性能的需求，在不同管压条件下，对比分析干法扩散工艺和湿法再分布工艺的扩散掺杂效果。石英管工艺压力分别设置为100 kPa、90 kPa、80 kPa，气体总流量设置为15 000 m L/min、25 000 mL/min，优化扩散工艺，每方阻大小90～100Ω，对比分析两种扩散方式下的片内及片间均匀性（见表1）。