《表2 控制电流与输出功率的对照参考表》

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《激光刻蚀法加工平面传感器电极的工艺研究》

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刻蚀设备采用的是由东莞盛雄激光设备有限公司生产的UV系YVO4半导体端面泵浦紫外型激光打标机，激光器的波长为355 nm，采用固定式导光系统，调制频率为500 Hz～90 kHz，激光工作功率的可调范围为3～8 W，最大的刻蚀速率为8 000 mm/s，该设备通过调节激光器控制箱的控制电流参数来控制输出功率，控制电流与输出功率对照关系如表2。