《表3 3D位移平台的技术要求》

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《金属熔体沉积实验装置研究》

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由于坩埚中盛放金属较多，故应避免坩埚运动过程中造成的金属液面晃动和运动形成的惯性误差。为保证成形精度，采用金属熔体装置不动，3D位移平台装置采用X-Y-Z运动形式。根据成形零件的尺寸大小，具体技术要求如表3所示。拟成形零件最大有3.6 kg，且考虑留有一定的余量，所以在进行设计时，负载为5 kg。设计基板移动位移为400 mm×400 mm，高度方向的运动位移为500 mm，坩埚安装在Z轴上，通过直角支架运动实现垂直移动。台面尺寸为400 mm×400mm。为保证基板能和成形的制件更好地熔合，需要对基板进行加热，加热温度为273～500 K，并实时可调。加热形式为电阻丝加热，利用热电偶（型号：TT-K-20，Omega Inc.Stamford，CT）安装在基板表面的孔中以便通过温度控制器（CN9000A，Omega Inc.Stamford，CT）控制基板温度。为保证成形的精度，设计3D位移平台的绝对定位精度、平面度、运动精度以及平台的热变形量分别为0.005、0.005、0.01、≤0.01 mm。为保证成形效率，3D位移平台的移动速度最大为30mm/s，实物图如7b所示。