《表1 飞刀切削V形槽加工参数》

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《微金字塔阵列结构的飞刀切削技术研究》

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理论分析在飞刀加工V槽时，切削深度会影响次沟槽的产生，因此用实验验证切削深度与刀具中心偏移误差的关系。实验机床为Precitech Nanoform 700ultra，刀具为刀尖角度90°的尖刀，工件材料选用6061铝。本次实验的微V槽阵列特征尺寸横向宽度2μm，深度1μm。加工机床的额定的运动轴定位精度达到0.2μm，实际加工中造成的刀具中心偏移误差会大于这个值，因此实验设计单次切削深度分别为200 nm、500 nm和1μm来飞刀切削微V槽结构。切削实验参数如表1，用相同的加工转速和进给速度加工连续的V槽。