《表2 不同器件开关比(Ion/Ioff)的比较》
电流开关比(Ion/Ioff)指的是晶体管器件在开关两态时对应电流大小的比值,反映了在一定栅压下器件开关性能的好坏。为了观察层压工艺对电流开关比的影响,比对了PBTTT薄膜场效应晶体管器件、100℃层压器件和150℃的层压器件,结果如表2所示。由表2可以看出,对于具有不同沟道长度的器件,在150℃下层压制备的器件开关比高于单层器件,而100℃下层压制备的器件开关比低于单层器件。这是因为在实际器件制备过程中,使用的是带有电极的Si/SiO2基底,电极的高度约为30nm。在100℃层压条件下,敏化层是搭在源漏电极上,敏化层本身较好的导电性导致开关比降低。150℃层压条件下,敏化层与电荷传输层紧密接触,成为场效应晶体管电荷传输半导体的一部分,有利于实现高的开关比。说明在层压工艺中,温度是一个重要的实验参数,优秀的电流开关比性能离不开层压温度的选择。
图表编号 | XD00145402900 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.06.01 |
作者 | 林显森、马兰超、李焕焕、肖冬琦、谢亮、梁永日、吴倜 |
绘制单位 | 北京石油化工学院、北京石油化工学院、北京石油化工学院、北京石油化工学院、北京石油化工学院、北京石油化工学院、北京印刷学院 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |