《表1 气冷罗茨泵机组的压力范围》
○工作压力极限压力
干泵在半导体行业应用成功,亦激励干泵制造商将干泵引入化学工业,虽然干泵价格昂贵,但运行成本较低,特别是没有废液处理问题,对环境和健康十分有利。目前各种型式的干泵很多,包括涡旋泵、隔膜泵、干式旋片泵、罗茨型干泵、爪式干泵和螺杆真空泵。在化工行业应用中占主导地位的是罗茨型干泵、爪式干泵和螺杆真空泵。
图表编号 | XD00143719200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.03.25 |
作者 | 姜燮昌 |
绘制单位 | 沈阳真空技术研究所有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |