《表2 腔室污染降低：摩擦后清洗机对Zara不良的影响和改善》
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摩擦后清洗机腔室污染降低的原理和前文所述类似，主要通过减小下方喷淋管的数量和流量来改善基板上方的污染问题，以及调整模块的角度来增强清洗能力，相关的调整如表2所示。
| 图表编号 | XD00140782000 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.04.01 |
| 作者 | 黎关超、徐风波、刘坤、沈水、曾小强、李伟 |
| 绘制单位 | 北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
