《表4 不同材料试样能谱分析结果（质量分数）》

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《一种基于扫描电镜和能谱仪的GIS放电异物来源分析方法》

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为验证能谱分析GIS放电异物成分的准确性，从6种钢铁材料、3种铜材料、7种铝材料、7种表面处理材料、3种绝缘材料（材料名称见表4）中取样，使用JEOL JSM-6510A型扫描电镜及其附带的能谱仪分析微区成分，分析位置和分析结果如图16（因试样较多，此处仅列出表面处理材料的分析位置）和表4所示。使用PDA7000型光电直读光谱仪进行材料化学成分分析，将化学成分分析结果与能谱分析结果对比后发现两种结果一致，采用扫描电镜和能谱分析GIS放电异物成分得到的结果较准确。