《表1 材料参数表：ANSYS在压电天平设计中的应用》

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《ANSYS在压电天平设计中的应用》

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在有限元建模时，压电陶瓷片采用正压型的PZT-5，天平本体采用00Ni18Co8Mo5TiAl材料（性能参数见表1。表中，c为弹性刚度矩阵元；E、ρ、μ分别为弹性模量、密度、泊松比；ε为介电常数；e为压电应力常数）。采用SOLID5压电耦合单元模拟压电陶瓷片（压电陶瓷片上会出现力场和压电场耦合，而SOLID5单元具有三维磁场、热场、电场、压电场和结构场分析能力，并能在各场之间实现有限的耦合）；采用SOLID45单元模拟天平本体。建立的压电天平有限元模型如图1所示。