《表1 两种算法的测量值：基于图像处理的线距测量方法》

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《基于图像处理的线距测量方法》

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CD-SEM自身携带基于线性近似算法的程序，因此，针对100nm～10μm的线距标准样片，可直接使用CD-SEM获取相应的测量数据，作为线性近似算法的测量结果。其次，CD-SEM测量系统可获取线距标准样片的图像信息，基于线距测量算法，对图像进行图像处理，进而获取样片的线距信息。针对线距标准样片，选取样片光栅特征的10个周期，并通过取平均值的方案，减少单周期光栅对实验结果的影响，测量结果如表1所示。