《表3 PS@SiO2-2、中空Si O2-2微球的比表面积、平均孔径、孔容对比》

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《缓蚀剂负载中空SiO_2微球的制备及性能》

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进一步探究了TEOS用量对中空SiO2球的球壳厚度的影响。分别用PS:TEOS质量比为1:2、1:3、1:4对PS-3微球进行包覆。由图6可见，中空SiO2微球的壁厚随着TEOS用量增大而增厚，分别为20、23和28 nm。