《表2 双辉等离子表面渗铬工艺参数》

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《Al/Cr复合涂层对Ti_2AlNb合金抗热腐蚀性能的影响》

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首先利用DBY500型双辉等离子表面冶金尺寸炉在Ti2AlNb表面制备Cr涂层，以纯Cr靶（尺寸?100 mm×4 mm，纯度99.99%）作源极，Ti2AlNb合金作工件极，工作气体为氩气，具体工艺参数见表2。再利用DBY501型磁控溅射炉在渗Cr层表面沉积Al涂层，基片与阳极相连，纯Al靶（?100 mm×4 mm，纯度99.99%）与阴极相连，溅射过程持续通入氩气，具体工艺参数见表3。双辉等离子表面冶金及磁控溅射技术的原理及方法见文献[21-22]。渗镀结束后，将涂层试样放入600℃真空热处理炉中扩散退火6 h。