《表1 两种开缝情况下焦点处横截面的电场幅值的平均值和协方差》

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《一种双波导缝隙馈波的微波等离子体紫外灯装置设计》

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仿真计算时，输入功率设置为0.5 W。图4为两种开缝方式S参数计算结果对比，图5是非同向开缝方式下的S参数，图6为两种开缝方式的焦点处横截面的电场幅值分布图。表1列出了焦点横截面电场幅值的平均值和协方差。通过S参数和电场幅值平均值的对比可以看出，非同向开缝情况的S21远小于同向开缝情况，且电场平均值约为同向开缝情况的两倍，表明输入的能量更多地保留在了腔体内部，即本文设计的开缝方式确实可以降低腔体内的电磁波互耦情况。非同向开缝的协方差较同向开缝情况更小，说明这种开缝方式有更好的场均匀性。