《表1 A、B组抽测TTV及其均值》

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《优化半绝缘GaAs双抛片精抛工艺的可行性探究》

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从A、B组各抽6片晶片，在LINT-208GA型几何尺寸测试仪（集成测厚模组）下测量几何参数。各组TTV及其均值记录如表1所示，图2是每组各1片TTV的三维和二维展示图谱。