《表1 F-SFx键能表：GIS设备局部火花放电故障SF_6分解特性》

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《GIS设备局部火花放电故障SF_6分解特性》

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造成SO2F2和SOF2的生成量-能量关系出现相反趋势的原因是，SF6分子裂解成低氟硫化物SFx需要逐步断裂S-F键，SFx中S-F键能如表1所示[16]。当单次火花放电能量较小时，SF6分子断裂一个S-F键之后生成SF5碎片，此时一部分能量提供给式（6）反应生成SO2F2，另一部分进一步将SF5碎片裂解生成SF4碎片。F-SF4键能是所有S-F键中最小的，仅为224.7 k J/mol[20]，因此当火花放电提供的能量不充裕时，SF4进一步裂解成SF3和SF2的可能性极小，此时化学反应式（6）在SO2F2的生成中占主导地位。