《表2 复振幅型补偿器位相分布拟合多项式参数》

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《望远超分辨成像中的视场光阑影响及补偿机理》

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望远超分辨系统中的两个关键器件为微米级视场光阑和复振幅型光瞳滤波器。其中，视场光阑小孔直径为几十到几百微米，类似光学器件星点板，可利用激光直写方式进行加工，加工技术较为成熟，成本约数千元。而复振幅型光瞳滤波器在实际应用中可利用纯振幅型和纯相位型滤波器进行叠加，其中振幅型可通过染色，相位型可将滤波器位相离散化后通过光刻和反应离子刻蚀的方法进行加工，工艺较为繁琐，总成本在数万元左右。或者利用空间光调制器来模拟光瞳滤波器，该方法较为简单，但使得光路体积较大且需要电控系统。实际中可按需求选择不同的实现方式[16]。