《表1 材料各项参数：基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计》

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《基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计》

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采用Intellisuite软件中的Blueprint版块进行版图设计，采用Fab版块进行虚拟工艺仿真并建立三维模型，进行网格划分。最后采用TEM版块定义材料参数，设置边界条件，加载电学偏置和红外辐射信号进行仿真，材料各项参数如表1。