《表1 热流密度对气泡动力学行为的影响》

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《MEMS器件中微气泡执行器气泡动力学研究》


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表1给出了热流密度对气泡动力学行为的影响,包括生长延迟时间差tb、升温速率(I区域)、膜温最大值和最大气泡直径。由表1可知,随着热流密度增大,加热膜升温速率增加,由于起始核化温度基本相同,因此促使tb变短;在加热脉宽一定时,tb变短意味着气泡产生后的加热时间变长,膜温最大值增大,即气泡膨胀时间变长;加之热流密度越高,气泡所能够吸收的能量越大,因此气泡膨胀动力越大,引起气泡最大直径增加。