《表1 浆料参数、性能和注浆工艺》

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《压力注浆成型大规格ITO靶材坯体研究》


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首先使用规格为310 mm×200 mm×11 mm、单注浆孔的模具,浆料的主要制备参数和初选的3步加压工艺见表1。