《表9 高浓度下MKS红外检测仪测试标准偏差及不确定度》

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为评估仪器MKS红外检测仪在进行浓度测量时引起的不确定度,我们分别在高、中、低三种浓度下发生五种气体,每个浓度下重复测试六次,根据六次的测试结果计算评估红外检测仪的测量不确定度。由于韩标五大气体除去率测试中,气体的初始浓度均为10ppm,因此我们选择发生10ppm、5ppm以及1ppm左右的三个常用浓度,来评估仪器的测量不确定度。表9、表10、表11分别为高、中、低浓度下五大气体的重复性测试结果。由表可看出,不论在高、中、低浓度下,MKS红外测试仪对于五种气体浓度测试的相对标准偏差均保持在较低的范围内,测试精密度均满足要求,可以用于标准测试。