《物理量传感器》求取 ⇩

目录1

绪论1

1．关于传感器的定义和分类1

2．传感器的通性2

3．对传感器的基本要求7

4．可靠性和小型化问题8

第一章 传感器的弹性元件13

1．弹性元件的主要特性和结构型式13

2．有边波纹的罩式平膜片计算26

3．应变梁端部与膜片中心的连接29

4．膜片与传感器壳体之间的温度梯度对灵敏度的影响32

5．膜片式弹性元件的压力传递滞后38

6．新型弹性元件的制造工艺问题40

第二章　传感器的敏感元件47

1．传感器敏感元件的主要型式47

2．半导体应变式敏感元件48

3．电磁式敏感元件73

4．压电式敏感元件84

5．电容式敏感元件89

6．温度敏感元件100

1．半导体应变式传感器113

第三章　压力传感器113

2．电磁式传感器126

3．电容式传感器129

4．弦丝式传感器133

第四章 振动参数传感器139

1．小型精密压电式振动加速度传感器139

2．减小横向寄生灵敏度的途径及转动灵敏度的测量方法142

第五章　气体流量计传感器147

1．半导体应变式传感器147

2．半导体电磁式传感器152

3．有线性特性的速度头流量计153

第六章　温度传感器156

1．有金属丝敏感元件的温度传感器156

2．单晶锗型温度传感器157

3．温度传感器的新型结构元件——镓合金（金属胶）158

4．温度传感器的动态特性162

附录Ⅰ 平膜片半导体压力传感器的灵敏度和频率167

特性计算167

附录Ⅱ 半导体流量传感器的灵敏度计算方法177

参考资料181