《气体纯化》

第一章概述1

第一节 电子工业对气体纯度的要求1

第二节 常用气体的来源和纯度4

第三节 气体的物理化学性质11

第二章常用气体的纯化方法17

第一节 化学反应法17

第二节 选择吸附法25

第三节 低温精馏法36

第四节 薄膜扩散法40

第三章氢气纯化的方法49

第一节 催化除氧吸附干燥纯化氢气49

第二节 钯合金扩散纯化氢气54

第三节 变压吸附纯化氢气57

第四节 低温吸附纯化氢气61

第四章氮气的纯化63

第一节 化学除氧和吸附干燥纯化氮气63

第二节 低温精馏提取高纯氮气71

第五章氧气的纯化方法75

第一节 化学除烃(或除氢)纯化氧气75

第二节 低温精馏纯化氧气78

第六章氩气的纯化方法81

第一节 用吸气剂纯化氩气81

第二节 低温精馏(或低温吸附)纯化氩气86

第七章气体纯化干燥装置的设计89

第一节 催化反应器的设计89

第二节 冷凝干燥器的设计97

第三节 吸附干燥器的设计105

第八章气体纯化装置的辅助设备117

第一节 水冷却器117

第二节 电阻加热器121

第三节 管道、接头和阀126

第九章钯合金扩散氢气纯化装置137

第一节 钯合金扩散室137

第二节 钯合金扩散氢气纯化装置的工艺流程147

第十章无热再生气体干燥装置151

第一节 无热再生变压吸附的基本原理151

第二节 无热再生气体干燥工艺155

第三节 无热再生气体干燥装置的工艺计算161

第四节 无热再生气体干燥装置的部件162

第十一章气体过滤器166

第一节 一般气体过滤器167

第二节 气体高效过滤器171

第三节 测定气体含尘量的方法178

第十二章高纯气体的输送182

第一节 气体的供应方式182

第二节 高纯气体的输送188

第十三章高纯气体的分析191

第一节 高纯气体中微量水分含量的测定192

第二节 高纯气体中微量氧含量的测定199

第三节 气相色谱法测定气体的微量杂质含量204

第四节 其它微量杂质气体含量的测定方法210