《感光性高分子》

目录1

1序论1

2研制感光性高分子的历史7

2.1照相制版术的发明7

2.2光致抗蚀剂的历史11

2.2.1光刻和光致抗蚀剂11

2.2.2重铬酸系抗蚀剂13

2.2.3有机光化学和光致抗蚀剂14

2.3供光致抗蚀剂用的感光性高分子的研制历史19

2.3.1聚乙烯醇肉桂酸酯系抗蚀剂19

2.3.2双叠氮－橡胶系抗蚀剂20

2.3.3二叠氮萘醌系抗蚀剂20

2.3.4光聚合系抗蚀剂21

2.4研制感光性树脂凸版的历史22

参考文献25

3有机光化学反应基础27

3.1光化学反应的概念27

3.2光的特性28

3.2.1光能29

3.2.2光的吸收30

3.2.3在聚合物膜中的光吸收31

3.3量子效率32

3.4电子跃迁和激发态32

3.5 n-π*跃迁和π-π*跃迁37

3.6电荷转移跃迁38

3.7发射光谱40

3.8光化学反应42

3.9 Stern-Volmer作图45

参考文献50

4感光性高分子的功能和分类51

4.1照相方面的功能51

4.1.1特性曲线52

4.1.2感度54

4.1.3分光感度60

4.1.4分辨力66

4.1.5显影性69

4.1.6耐用性70

4.1.7影响照相功能的因素71

4.1.8易剥膜性74

4.2光固化功能75

4.2.1光反应的种类和固化75

4.2.2光源和光强以及波长76

4.2.3热固化和光固化的比较81

4.3光降解（老化）功能83

4.4其它的功能85

4.4.1光反应的催化性85

4.4.2光导电性87

4.4.3光致发光性88

4.4.4光致变色性89

4.5感光性高分子的分类91

参考文献93

5感光性化合物＋高分子型96

5.1重铬酸盐类96

5.1.1重铬酸盐的光反应96

5.1.2重铬酸盐系感光性高分子100

5.2芳香族重氮化合物104

5.2.1芳香族重氮化合物的光反应104

5.2.2使用重氮化合物的感光性高分子118

5.3芳香族叠氮化合物131

5.3.1芳香族叠氮化合物的光反应131

5.3.2芳香族亚氮化合物的反应138

5.3.3使用芳香族叠氮化合物的感光性高分子141

5.4其它感光性化合物151

5.4.1有机卤化物151

5.4.2光聚合引发剂154

5.4.3芳香族硝基化合物155

5.4.4其它化合物156

参考文献160

6具有感光基的高分子型166

6.1 具有感光基的高分子的合成方法166

6.1.1高分子反应166

6.1.2聚合反应172

6.1.3具有感光基的高分子的改性方法179

6.2 聚乙烯醇肉桂酸酯以及类似的高分子化合物182

6.2.1聚乙烯醇肉桂酸酯182

6.2.2具有肉桂酰基的其它高分子194

6.2.3通过环丁烷化反应而交联的其它高分子199

6.3具有重氮基和叠氮基的高分子211

6.3.1重氮系感光性高分子211

6.3.2叠氮系感光性高分子215

6.4具有其它感光基的高分子224

6.4.1 1,2,3-噻二唑系高分子224

6.4.2含硫高分子225

6.4.3含硝基的高分子226

6.4.4含其它感光基的高分子227

6.5光降解型感光性高分子229

6.5.1光降解的反应机理230

6.5.2光降解型感光性高分子233

参考文献240

7光聚合组成型247

7.1光聚合反应247

7.1.1光聚合引发剂248

7.1.2光聚合速度的解析253

7.2单纯光聚合体系254

7.3光聚合单体＋高分子体系258

7.3.1光聚合单体258

7.3.2具有功能基的高分子（聚合物和预聚物）265

7.3.3光聚合体系的组成273

7.4光聚合体系的增感方法279

7.4.1影响光聚合感度的诸因素279

7.4.2光聚合体系的增感方法280

参考文献284

8感电子束和感X射线的高分子（电子束与X射线抗蚀剂）288

8.1电子束以及X射线的性质290

8.2电子束与X射线对高分子的作用292

8.3 G值和感度295

8.4电子束抗蚀剂用高分子化合物299

8.4.1 阳图型电子束抗蚀剂301

8.4.2阴图型电子束抗蚀剂309

8.5 X射线抗蚀剂用高分子化合物313

8.5.1 X射线平版印刷术313

8.5.2 X射线抗蚀剂315

参考文献318

9感光性高分子的应用322

参考文献328

参考文献（有关感光性高分子的参考书、综论）329