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第一篇磁性薄膜1

第一章 磁性薄膜的制备方法1

1.1 真空镀膜法1

1.1.1 概述1

1.1.2 基本公式1

1.1.3 蒸发材料的基本加热装置——蒸发源4

1.1.4 真空蒸发设备7

1.2 溅射法8

1.2.1 溅射的基本原理9

1.2.2 基本溅射装置——两极直流溅射法11

1.2.3 高频溅射法12

1.3 液相外延生长法14

1.3.1 化学组分和相关系14

1.3.2 液相外延工艺16

1.3.3 影响处延膜性能的因素及其控制方法18

第二章 磁性薄膜的微波特性20

2.1 磁性薄膜的静磁波传输特性20

2.1.1 概述20

2.1.2 任意方向磁化的磁性薄膜的色散方程22

2.1.3 三种模式的静磁波色散方程26

2.2.1 简单结构的静磁波延迟线的色散特性27

2.2 静磁波的延迟线27

2.2.2 静磁波延迟线色散特性的控制方法28

2.3 静磁波振荡器31

2.4 静磁波信噪比增强器33

2.4.1 对称槽线型静磁波S/N增强器结构及工作原理33

2.4.2 增强量33

2.4.3 工作频带及特性35

2.5 YIG薄膜微波滤波器36

3.1 磁性介质的磁光特性41

3.1.1 偏振光的数学表示法41

第三章 磁性薄膜的光电特性41

3.1.2 介电张量、磁导率张量和磁光效应42

3.1.3 法拉第效应和瓦格特效应44

3.1.4 克尔效应46

3.2 磁光隔离器48

3.2.1 概述48

3.2.2 磁光隔离器的基本原理及分类49

3.2.3 比法拉第旋转角θF温度特性的改善51

3.3 YIG薄膜磁场(电流)传感器55

3.3.1 光纤型磁场(电流)传感器的原理55

3.3.2 光纤型磁场(电流)传感器的性能57

3.3.3 双光束方式的不平衡误差58

3.3.4 光纤型磁场(电流)传感器的特点及其应用59

第四章 磁性薄膜的信息存储特性61

4.1 水平记录用磁性薄膜61

4.1.1 电镀磁性膜61

4.1.2 溅射磁性膜64

4.1.3 真空蒸镀磁性膜65

4.2 垂直磁记录薄膜66

4.2.1 概述66

4.2.2 垂直磁化膜的磁特性和显微结构67

4.2.3 Co-Cr薄膜磁特性与制备工艺的关系70

4.3.1 光热磁记录原理74

4.3 光磁记录薄膜74

4.3.2 光热磁记录用介质材料76

4.3.3 多层介质结构77

4.3.4 非晶TbFeCo薄膜的磁特性78

4.3.5 带有干涉层结构的TbFe薄膜的光磁特性80

4.4 磁泡82

4.4.1 磁泡稳定存在的条件83

4.4.2 磁泡材料的基本参数84

4.4.3 磁泡材料85

第五章 磁性薄膜的磁电阻特性86

5.1 各向异性磁电阻效应86

5.2.2 m 3m点群晶体物理性质的张量元的对称规律88

5.2 磁各向异性的数学方程式88

5.2.1 晶体对称性的一般规律88

5.2.3 单晶材料的电阻率ρ的一般表达式90

5.2.4 多晶材料的电阻率91

5.3 巨大磁阻(GMR)效应92

5.3.1 各向异性磁电阻效应和巨大磁阻效应的比较93

5.3.2 多层膜中磁阻效应的起源94

5.4 磁性薄膜MR传感器98

5.4.1 三端MR传感元件98

5.4.2 四端MR传感元件98

5.4.3 能辨别方向的四端MR元件99

5.5.1 磁编码器原理和MR元件结构101

5.5 磁编码器101

5.5.2 MR元件的有关问题102

5.6 薄膜工艺条件对性能的影响105

第二篇磁性粉体109

第六章 铁磁性粉体的基本特性109

6.1 铁磁性粉体的磁畴结构和磁特性109

6.1.1 磁畴结构109

6.1.2 单畴临界尺寸的计算109

6.1.3 粉体颗粒的磁特性110

6.2.1 单畴颗粒的矫顽力Hc111

6.2 铁磁性粉体材料的磁化过程111

6.2.2 单畴颗粒的起始磁化率xi113

6.2.3 单畴颗粒的磁滞回线114

6.3 多晶铁磁性粉体的饱和磁化强度和剩余磁化强度115

6.3.1 单轴晶系多晶体的磁化强度116

6.3.2 立方晶系中的三易磁化轴多晶体(K1>0)的磁化强度116

6.3.3 立方晶系中的四易磁化轴多晶体(K1<0)的磁化强度118

6.4 铁磁性粉体集合体的特性120

6.4.1 不考虑颗粒间相互作用时的特性120

6.4.2 考虑磁粉颗粒间相互作用时的特性120

6.4.3 非一致转动模式121

6.4.4 畴壁的成核及反磁化过程124

6.4.5 普利沙赫(Preisach)图形125

第七章 磁性粉体的永磁特性及软磁特性129

7.1 永磁粉体磁性参数对永磁体特性的影响129

7.1.1 对永磁粉体的基本要求129

7.1.2 永磁粉体矫顽力理论概述129

7.1.3 永磁粉体取向度对永磁体特性的影响132

7.1.4 永磁粉体堆积密度对永磁体特性的影响133

7.2 稀土永磁粉体135

7.2.1 稀土永磁粉体的成分、结构和性能135

7.2.2 稀土永磁粉体的制造技术138

7.3.1 干法工艺概述142

7.3 永磁铁氧体粉体的制备技术142

7.3.2 湿法工艺概述144

7.4 永磁粉体的取向技术147

7.4.1 概述147

7.4.2 评估取向度的方法147

7.4.3 稀土永磁粉体的取向技术148

7.4.4 铁氧体永磁粉体的取向技术150

7.5 金属软磁铁粉芯153

7.5.1 磁芯的电磁特性154

7.5.3 压粉磁芯的种类156

7.5.2 磁芯的损耗特性156

7.5.4 钼坡莫合金压粉磁芯157

7.5.5 铝硅铁合金压粉磁芯158

7.5.6 羰基铁磁芯159

第八章 磁粉的电磁波吸收特性161

8.1 电磁波吸收剂主要技术指标161

8.2 磁粉的吸收机理分析162

8.2.1 复数磁导率μT162

8.2.2 磁粉的磁损耗和储能163

8.2.3 铁氧体磁谱163

8.2.4 铁氧体的自然共振吸收164

8.2.5 磁晶各向异性与形状对ωT的影响167

8.2.6 多畴结构对ωT的影响171

8.3 磁粉的介电损耗机理分析171

8.4 微波吸收剂用磁粉的温度稳定性173

8.5 W型六角晶系铁氧体微波吸收剂174

8.5.1 W型六角晶体结构与特性175

8.5.2 (Zn1-?Co?)2-W的制备和测试小样制作177

8.5.3 Co2+对(Zn1-?Co?)2-W的电磁参数影响177

8.5.4 吸收剂含量对电磁参数影响178

8.5.5 吸收剂复合对电磁参数影响179

8.5.6 (Zn1-?Co?)2-W的温度稳定性181

8.5.7 (Zn1-?Co?)2-W吸波材料的R—f特性182

8.6 Ba-M 型六角晶系铁氧体微波吸收剂183

8.6.1 Co2+、Ti4+对Ba-M 磁粉磁性的影响183

8.6.2 Ba-M 磁粉的温度稳定性184

8.6.3 Ba-M 型吸波材料的R-f特性186

8.7 其他类型磁性微波吸收剂187

8.7.1 Z型六角晶体吸收剂188

8.7.2 Y型六角晶体吸收剂188

8.7.3 尖晶石铁氧体吸收剂189

8.8 RAM技术的发展趋势191

9.2.1 γ-Fe2O3晶体结构与性质193

9.2 γ-Fe2O3磁粉193

第九章 磁粉的信息存储特性193

9.1 磁记录介质对磁粉的要求193

9.2.2 γ-Fe2O3磁粉的制备194

9.2.3 钴改性氧化铁磁粉(Co-γ-Fe2O3)201

9.2.4 外包金属层氧化铁磁粉204

9.3 CrO2磁粉204

9.3.1 CrO2的晶体结构与特性204

9.3.2 CrO2磁粉的制备205

9.3.3 CrO2磁粉性能改进206

9.4.1 金属磁粉的结构与特性207

9.4 金属磁粉207

9.4.2 金属磁粉的制备208

9.4.3 抗氧化处理210

9.4.4 氮化铁磁粉210

9.4.5 碳化铁磁粉211

9.5 Ba-M 型磁粉212

9.5.1 BaFe12O19晶体结构与特性212

9.5.2 Ba-M 型磁粉的制备工艺213

9.5.3 影响 Ba-M 型磁粉性能的因素214

参考文献217

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