《微机电系统及其相关技术》求取 ⇩

第1章 微机电系统概论1

1.1 微机电系统的重大意义及历史回顾1

1.2 微机电系统的主要技术4

1.3 微机电系统的主要材料7

1.4 智能系统集成8

参考文献9

第2章 微机电系统的微加工技术10

2.1 集成电路工艺10

2.2 微机电系统的硅微机械加工14

2.3 体硅腐蚀的目停止技术26

参考文献29

第3章 微机电系统表面微加工技术31

3.1 表面微机械加工的基本概念31

3.2 多晶硅的表面微机械加工33

3.3 多晶硅机械特性43

3.4 表面微机械加工技术及应用49

参考文献53

第4章 高深宽比微加工技术57

4.1 LIGA技术标准工艺58

4.2 LIGA技术的几种变化65

4.3 LIGA技术应用举例66

4.4 DEM技术68

参考文献71

第5章 微传感器与微执行器74

5.1 微传感器75

5.2 物理微传感器77

5.3 化学传感器和生物传感器89

5.4 微执行器97

参考文献107

第６章 键合技术111

6.1 阳极键合技术111

6.2 硅/硅基片直接键合(硅的熔融键合)117

6.3 其他硅-硅间接键合工艺125

参考文献127

第7章 微机电系统的相关电路及应用实例130

7.1 微机电系统相关电路130

7.2 微光机电系统应用实例144

参考文献155