集成电路测试设备与检测仪器是集成电路产业技术研发及生产中不可缺的核心设备。在我国集成电路发展的这些年中,该领域的发展一直没有得到应有的重视,全行业发展处于摸索阶段,甚至一些领域仍然是空白。随着工艺技术的快速发展,测试设备检测仪器的总投入规模已经达到整个晶圆制造工厂设备总投资规模的30%以上。随着工艺节点的更新,其技术的需求将面临更大的挑战。本书面向中国集成电路测试与检测产业链的技术创新趋势,在借鉴国际测试技术发展路线图的同时,以国内检测与测试产业链为主要对象,针对性的提出了国内集成电路测试产业链技术创新发展路线。全书共6章,从5个方面分析了国内测试产业实现产业技术链创新和赶超国际产业的主要方向,包括集成电路检测、自动化测试ATE和电力电子测试技术与产品,另外还有测试服务和军民融合技术;对正在不断涌现的新领域进行了简要分析;最后对封装测试的市场格局发展进行总结,推动我们集成电路产业赢得更快更好的发展。

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