《TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器》高清PDF
作者: 张辉军著
出版: 哈尔滨:黑龙江大学出版社
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出版时间: 2013.11 (求助前请核对清楚)
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采用纳米TiO2球壳薄膜作为敏感薄膜利用Si/TiO2异质结构的优良电学特性设计pn结衬底电极TiO2氧传感器。制备完成的TiO2纳米球壳直径在250nm左右,结构完整。能够满足提高被测气体的表面吸附,获得优良的气体灵敏度的结构特点。
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