学与技术是近年来在全球范围内广受重视的一门飞速发展的新兴学科，而纳米测量学与纳米材料学、纳米电子学、纳米生物学、纳米机械学和纳米光学一样，已经成为纳米科学与技术的重要研究方向之一。本书在总结作者科研工作的基础上，较全面地对纳米尺度线宽(CD)测量，纳米尺度边缘粗糙度(LER)测量，纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量以及微纳尺度固液界面边界条件测量进行了论述。书中多为作者多年从事纳米测量相关研究的科研成果、实践经验与心得体会。本书对从事该领域研究工作的科研人员具有一定的借鉴意义。

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