本书首先介绍了纳米技术及纳米制造的基本知识与背景，后从多个方面介绍了纳米材料的规模化制造加工方法与原理、纳米结构器件及其批量化制造加工、封装技术等，并例举了多个纳米加工技术的实验案例。全书共分五章，第1章主要介绍纳米技术、纳米材料基本知识、纳米制造的基本定义等内容；第2章主要通过不同的纳米

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