《极限制造》高清PDF
作者: 高治军,许可著
出版: 中国矿业大学出版社
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出版时间: 2018.12 (求助前请核对清楚)
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高治军、许可著的《极造》以典型纳米器件-单壁碳纳米管场效应晶体管(SWCNTFieldEffectTransistor,SWCNTFET)装配制造为范例,面向纳米器件规模化制造,针对SWCNTFET规模化制造市场需求,系统研究了基于浮动电势和介电泳原理的纳米器件装配方法,设计实现了基于浮动电势介电泳的纳米器件批量化装配技术,实验结果验证了研究方法的有效性和可行性,为纳米电子器件制造技术发展提供了有意义的理论指导和实验方法。
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