《半导体制造工艺控制理论》高清PDF
作者: 王少熙,郑然,阴玥,游海龙,张淳著
出版: 西安:西北工业大学出版社
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出版时间: 2018.04 (求助前请核对清楚)
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稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开,详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数,特殊工序能力指数,常规过程控制技术,特殊过程控制技术,实验设计及工艺表征以及系统健康管理概念。
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