本书首先系统地对表面形貌测量仪器的发展进行了综述，然后从原理、结构、信号处理、软件设计等方面论述了基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统等三种表面形貌测量仪器，最后论述了表面形貌测量仪器的关键部件——运动工作台。

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