《微纳米加工技术及其应用》高清PDF
作者:崔铮著
出版:北京:高等教育出版社
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本书集作者多年来的实践经验与研究成果,并结合近年来国际上的最新发展,在原第一版的基础上,经过全面修订,增添了大量新内容,系统地介绍了微纳米加工技术的基础与最新进展,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术,及以沉积与刻蚀为代表的各种微纳米图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。全书对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明了各种工艺条件的由来,并注意给出典型工艺参数;充分分析了各种技术的优缺点,包括每种加工技术的能力与极限,及在应用过程中的注意事项。书中每一章都列举了大量相关参考文献,供进一步深入研究。
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