《微机电系统(MEMS)设计 建模、仿真与可视化》高清PDF
作者:卢桂章,赵新著
出版:北京:科学出版社
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出版时间:2010.10 (求助前请核对清楚)
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本书主要内容包括:微机电系统概述,微机电系统制造技术,微机电系统设计方法,基于IP库的MEMS设计方法,微机电系统系统级建模,微机电系统器件级建模、仿真及可视化,微机电系统工艺级建模、仿真及可视化。
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