本书主要内容包括:微机电系统概述,微机电系统制造技术,微机电系统设计方法,基于IP库的MEMS设计方法,微机电系统系统级建模,微机电系统器件级建模、仿真及可视化,微机电系统工艺级建模、仿真及可视化。

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